捷佳伟创获得实用新型专利授权：“硼扩散反应进气系统及反应设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示捷佳伟创（300724）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“硼扩散反应进气系统及反应设备”，专利申请号为CN202420385147.6，授权日为2025年4月4日。

专利摘要：本实用新型公开了一种硼扩散反应进气系统及反应设备，硼扩散反应进气系统包括硼源进气组件与反应进气组件，硼源进气组件包括第一进气管，第一进气口用于通入硼源，第一进气口用于直接连通反应腔，反应进气组件包括至少一个第二进气管，第二进气口用于通入氧气或氮气，第二进气管与所述第一进气管隔绝；反应设备包括硼扩散反应进气系统。本实用新型中，第一进气管与第二进气管相互隔绝，硼源与其他反应气体分别通过第一进气管与第二进气管进气，阻断了硼源气体与氧气在反应腔外的混合，降低了硼源气体与反应气体在进入反应腔之前提前反应的可能性，并降低进气方式对反应腔内气场的影响，提高硅片方阻的均匀性。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权36个，较去年同期增加了89.47%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.91亿元，同比增34.78%。

数据来源：天眼查APP

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