华海清科获得发明专利授权：“晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备”，专利申请号为CN202411843416.X，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本发明提出了晶圆清洗装置、清洗方法及晶圆减薄设备。所述晶圆清洗装置用于晶圆减薄设备，晶圆减薄设备的机械手的夹持轮保持晶圆在位进行晶圆清洗，晶圆清洗装置包括：喷射旋转件，其用于向待被清洗的晶圆的背面喷射清洗流体，喷射旋转件的内部形成有第一流道，并且在喷射旋转件的朝向晶圆的背面的侧面上分布有喷射孔，喷射孔用于喷射清洗流体；中空转轴，其连接至喷射旋转件的旋转中心，中空转轴的内部形成有第二流道，第一流道连通第二流道；以及驱动机构，其用于在喷射旋转件向晶圆的背面喷射清洗流体的同时驱动中空转轴带动喷射旋转件旋转。本发明在晶圆减薄中使用非接触式背面清洗，能够有效地避免晶圆背面污染、划伤以及破片。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。