证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆后处理装置”，专利申请号为CN202111671422.8，授权日为2025年4月15日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆后处理装置，其包括：驱动机构，其竖直夹持晶圆并带动晶圆旋转；供给臂，其在晶圆的侧面摆动并经由其上的喷嘴将液体供应至晶圆表面；挡圈，其设置于所述驱动机构的外周侧；所述挡圈配置有导流槽，其沿挡圈轮廓的边沿设置，所述导流槽将自晶圆甩出的流体积聚并导引至挡圈的下部。
今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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