证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法”，专利申请号为CN202310253838.0，授权日为2025年4月15日。
专利摘要：本发明提供了一种用于化学机械抛光的抛光液及化学机械抛光方法，所述抛光液包括磨料、氧化剂、缓蚀剂、络合剂和水；其中，所述缓蚀剂包括1,2,4?三氮唑、油酸钾或1?苯基?5?巯基四氮唑中的任意一种或至少两种的组合。本发明在抛光液中加入特定组分和浓度的缓蚀剂，使得Cu/Co的抛光速率选择比处于可调状态，用以降低表面腐蚀、提高金属表面平坦化质量，防止抛光过程中造成表面粗糙、碟形和腐蚀坑等缺陷的出现。
今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。
数据来源：天眼查APP
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