盛美上海获得发明专利授权：“电镀装置及清洗方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“电镀装置及清洗方法”，专利申请号为CN201911077619.1，授权日为2025年4月11日。

专利摘要：本发明提供一种电镀装置及清洗方法，电镀装置包括晶圆夹具、储液罐、清洗管、控制阀及喷嘴；在储液罐中设置与电镀液相接触的清洗管中间段，通过具有预设温度的电镀液对清洗管中间段进行加热，以获得加热的清洗液，能有效提高资源利用率，无需额外添加加热设备，从而可降低成本、减少设备占地面积；通过喷嘴提供与电镀液具有相同温度的清洗液，用以清洗晶圆夹具中的导电触针及密封件，以有效去除残留物，降低对清洗液进行温控的难度；通过调控晶圆夹具的转速及喷嘴处清洗液的流量，提高清洗效率及清洗效果，且可有效降低清洗液对位于储液罐及位于电镀腔中的电镀液的影响。

今年以来盛美上海新获得专利授权3个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.29亿元，同比增18.47%。

数据来源：天眼查APP

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