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京仪装备获得实用新型专利授权:“一种抽真空装置”

来源:证券之星企业动态 2025-04-11 02:10:43
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示京仪装备(688652)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种抽真空装置”,专利申请号为CN202421447745.8,授权日为2025年4月11日。

专利摘要:本实用新型涉及半导体温控技术领域,提供一种抽真空装置。抽真空装置包括真空泵、第一管路和控制系统。第一管路的一端与所述真空泵连通,另一端与第一半导体温控设备连通;所述第一管路设有第一真空计和第二真空计,所述第一真空计和所述第二真空计的量程不同,且均用于检测所述第一管路内部的真空度;所述真空泵、所述第一真空计和所述第二真空计均与所述控制系统信号连接。本实用新型解决了现有技术中对半导体温控设备抽真空时,无法对真空度进行检测,进而无法进行精准控制而导致设备所形成的真空度误差较大的问题,实现一种能够对半导体温控设备的真空度进行精准控制的抽真空装置。

今年以来京仪装备新获得专利授权14个,较去年同期增加了16.67%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4470.99万元,同比增63.28%。

数据来源:天眼查APP

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