至纯科技获得实用新型专利授权：“一种马兰戈尼干燥机摇摆机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种马兰戈尼干燥机摇摆机构”，专利申请号为CN202420777010.5，授权日为2025年4月11日。

专利摘要：本实用新型涉及晶圆加工技术领域，公开了一种马兰戈尼干燥机摇摆机构，包括：升降机构，用于驱动动力机构沿竖直方向升降；动力机构，其固定端与升降机构的移动端连接，其移动端与摆臂机构连接，用于驱动摆臂机构在竖直面内转动；摆臂机构，包括与动力机构连接的摆臂和与摆臂连接的连接臂；晶圆托架，与连接臂连接，可兼容放置至少两种规格的晶圆。上述马兰戈尼干燥机摇摆机构，可通过升降机构调节摆臂机构的高度，进而改变晶圆托架距顶部的加热机构的距离，从而使其与不同规格的晶圆相适应、兼容不同规格晶圆的干燥加工需求，提高了摇臂式马兰戈尼干燥机的适用性。

今年以来至纯科技新获得专利授权9个，较去年同期增加了28.57%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。

数据来源：天眼查APP

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