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中微公司获得发明专利授权：“一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置”

来源：证券之星企业动态 2025-04-09 02:41:55

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种下电极组件，其安装方法及等离子体处理装置”，专利申请号为CN202010453854.0，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本发明提供了一种下电极组件，其安装方法及所处的等离子体处理装置，通过介电环与基座配合，将介电环与基座之间的缝隙分隔成两个或两个以上间隙，以及在介电环与基座之间设置保护环，并在基座外侧设置保护层，避免了基片和聚焦环上方的等离子体泄漏到基座与边缘环组件之间的间隙内，防止了等离子体腐蚀基座，降低了下电极组件出现电弧放电的可能性，有效的保证了下电极组件的使用安全。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了3.85%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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