中微公司获得发明专利授权：“一种等离子体反应器”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种等离子体反应器”，专利申请号为CN202011558590.1，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：一种等离子体反应器包括：反应腔，反应腔内底部设有导电基座，所述导电基座通过射频匹配网络连接到射频电源装置，所述导电基座上方用于放置待处理基片，反应腔内顶部包括一个上电极组件，所述导电基座和所述上电极组件之间为等离子体处理空间；一个第一导电接地环围绕围绕设置在导电基座的外围；一第二导电接地环电连接在所述第一导电接地环外侧壁和所述反应腔内侧壁之间，所述第二导电接地环上开设有多个气体通道，以使得所述等离子体处理空间内的气体能够穿过所述多个气体通道被排出；所述导电基座与所述第一导电接地环之间包括一绝缘环，所述绝缘环的介电常数小于3.5。

今年以来中微公司新获得专利授权50个，较去年同期减少了3.85%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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