汇成真空获得实用新型专利授权：“一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示汇成真空（301392）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶”，专利申请号为CN202421323168.1，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本实用新型公开了一种上下端分别进出水的细长管内壁镀膜用的磁控溅射靶，其包括靶头组件、靶管组件和尾座固定组件，靶头组件设有进水口、进水通道、进气口、连接气道、传动机构和转轴，传动机构连接在转轴上，尾座固定组件设有出水口和水接管，靶管组件的上端和下端分别与转轴和水接管连接，靶管组件内设有至少一段布气道，靶管组件的侧壁上分布有若干出气孔，进气口、连接气道、布气道及出气孔依次相连通，靶管组件内形成有回水道，进水口、进水通道、回水道、水接管及出水口依次相连通。本实用新型经靶管组件内部的布气道往细长管的上中下位置直接布气，同时靶管组件还通过转动使得布气更均匀，从而能够解决细长管内壁均匀镀膜的难题。

今年以来汇成真空新获得专利授权26个。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1958.1万元，同比增2.41%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。