微导纳米获得实用新型专利授权：“一种支撑装置和镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种支撑装置和镀膜设备”，专利申请号为CN202421519616.5，授权日为2025年4月8日。

专利摘要：本实用新型公开的支撑装置，用于将载具支撑在镀膜设备的炉管内，支撑装置包括支撑杆和绝缘套管组件，支撑杆上设置有馈电承舟块，载具的馈电舟脚设置于馈电承舟块上；绝缘套管组件包括至少两个绝缘套管，绝缘套管套设于支撑杆上，且分别设置于馈电承舟块的两侧，绝缘套管面向馈电舟脚的一侧开设有缺口。本实用新型公开的支撑装置，执行镀膜工艺一段时间后，绝缘套管的表面会镀上一层导电膜，缺口位置处的导电膜会镀在支撑杆上，可以增大导电膜与馈电舟脚之间的距离，减少放电打弧现象发生的概率，从而可以改善电场的稳定性，提高镀膜的质量和效率，可以提高产量。本实用新型还公开了一种镀膜设备。

今年以来微导纳米新获得专利授权25个，较去年同期增加了19.05%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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