证券之星消息,根据天眼查APP数据显示晶合集成(688249)新获得一项发明专利授权,专利名为“离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统”,专利申请号为CN202510000247.1,授权日为2025年4月1日。
专利摘要:本申请公开了离子注入机稳定性的监控方法以及故障检测与分类系统,该监控方法包括:在离子注入过程中获取离子注入机的关键参数在不同时刻的多个取值,所述关键参数为使离子注入机的引出电流稳定不变而动态调整的参数;利用与采用所述离子注入机进行离子注入的产品良率具有相关性的目标统计算法对所述多个取值进行统计,得到统计结果;根据所述统计结果确定所述离子注入机在所述离子注入过程中的稳定性。本申请实现了对离子注入机稳定性的实时且准确的监控。
今年以来晶合集成新获得专利授权88个,较去年同期增加了37.5%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6.14亿元,同比增22.27%。
数据来源:天眼查APP
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