高华科技获得发明专利授权：“一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示高华科技（688539）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS电容式触觉压力传感器及其制备方法”，专利申请号为CN202110178432.1，授权日为2025年4月1日。

专利摘要：本发明提出一种MEMS电容式触觉压力传感器，包括：衬底；绝缘层，设置在所述衬底上；电极，设置在所述绝缘层上；电介质层，设置在所述绝缘层上并覆盖所述电极；触觉敏感体，设置在所述电介质层上；其中，所述触觉敏感体构成所述MEMS电容式触觉压力传感器的可动电极。本发明所提出的MEMS电容式触觉压力传感器主要依赖电容电极间的面积变化来响应触觉压力的变化，相比于现有的通过电极间距变化来响应触觉压力变化的MEMS触觉压力传感器，具有高线性度、高灵敏度的优点。且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。

今年以来高华科技新获得专利授权2个，较去年同期减少了80%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2965.39万元，同比增58.94%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。