证券之星消息,根据天眼查APP数据显示士兰微(600460)新获得一项发明专利授权,专利名为“MEMS麦克风”,专利申请号为CN202010846116.2,授权日为2025年3月28日。
专利摘要:本发明提供了一种MEMS麦克风,衬底上的支撑墙体围合成一空腔,振动膜悬于空腔内且边缘延伸至支撑墙体内实现固定。背板结构上的释放孔阵列包括多个贯穿背板结构并与空腔连通的释放孔,在通过释放孔阵列释放牺牲层形成支撑墙体的过程中,支撑墙体的内壁的轮廓会跟随最外圈释放孔靠近支撑墙体的一侧的轮廓。将释放孔阵列中最外圈释放孔配置为背向释放孔阵列的中心的第二侧较面向释放孔阵列的中心的第一侧更平坦,从而平滑支撑墙体内壁的轮廓,抑制尖角的形成,防止尖角戳破振动膜而导致振动膜脱落,提高器件的寿命和可靠性。
今年以来士兰微新获得专利授权25个,较去年同期增加了8.7%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4.87亿元,同比增34.18%。
数据来源:天眼查APP
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