证券之星消息，根据天眼查APP数据显示水晶光电（002273）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种立式镀膜装置”，专利申请号为CN202210404611.7，授权日为2025年3月28日。
专利摘要：本申请提供一种立式镀膜装置，涉及半导体制备技术领域，包括基座、镀膜机构以及转动设置于基座上的公转机构，在公转机构的周壁设置有载板，在载板上转动设置有用于放置平面基板的自转机构，公转机构的转动平面与自转机构的转动平面垂直，镀膜机构设置于基座且与平面基板对应，以此通过自转能够改变平面基板表面位置点与镀膜机构的距离，从而平衡各位置点距离的差异化，进而减小平面基板表面镀膜的横向散差，提高产品的均匀性和良率。
今年以来水晶光电新获得专利授权8个，较去年同期减少了27.27%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.77亿元，同比减18.21%。
数据来源：天眼查APP
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