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士兰微获得发明专利授权:“集成电路的制造方法及集成电路”

来源:证券之星企业动态 2025-03-26 02:55:49
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示士兰微(600460)新获得一项发明专利授权,专利名为“集成电路的制造方法及集成电路”,专利申请号为CN202111306984.2,授权日为2025年3月25日。

专利摘要:公开了一种集成电路的制造方法及集成电路,包括:在衬底上通过离子注入形成N型埋层;在所述N型埋层上形成外延层;在所述外延层中形成有源区和无源区;在所述无源区中形成多个场氧化层;在所述外延层中形成多个低压N型阱和多个低压P型阱;在所述低压N型阱、所述低压P型阱和所述场氧化层上形成多个栅极结构;形成多个深槽隔离结构,所述深槽隔离结构贯穿所述外延层、所述N型埋层并延伸至所述衬底中。本申请的集成电路的制造方法及集成电路,通过采用后道深槽隔离结构的工艺,减小集成电路的闩锁效应,从而提高集成电路的可靠性。

今年以来士兰微新获得专利授权21个,较去年同期增加了40%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4.87亿元,同比增34.18%。

数据来源:天眼查APP

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