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江丰电子获得发明专利授权:“一种磁控溅射托盘的整平方法”

来源:证券之星企业动态 2025-03-26 02:54:04
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种磁控溅射托盘的整平方法”,专利申请号为CN202310249182.5,授权日为2025年3月25日。

专利摘要:本发明涉及一种磁控溅射托盘的整平方法,所述整平方法包括:将变形的磁控溅射托盘与保护垫装配后依次进行第一热压处理、第二热压处理、第三热压处理和冷却;所述第一热压处理为恒温恒压过程;所述第二热压处理为变温恒压过程,升温速率为2?5℃/min;所述第三热压处理为恒温变压过程,降压速率为10?20N/min。本发明提供的整平方法,通过对整平工艺的设计,实现了对磁控溅射托盘的高效整平,整平后的平面度可以达到原始水平,同时使用寿命较原始磁控溅射托盘有进一步地提升。

今年以来江丰电子新获得专利授权18个,较去年同期减少了25%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.02亿元,同比增30.77%。

数据来源:天眼查APP

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