证券之星消息,根据天眼查APP数据显示拓荆科技(688072)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种半导体喷淋板中的导流装置”,专利申请号为CN202211664236.6,授权日为2025年3月21日。
专利摘要:本发明提供了一种半导体喷淋板中的导流装置,喷淋板包括侧周密封连接的上盖板和喷淋面板,喷淋气体由上盖板中央的进气口通入后再由喷淋面板上的多个孔洞喷淋至待加工半导体表面,导流装置设于上盖板的进气口与喷淋面板之间,导流装置的主体为锥体,底部通过支撑装置安装于喷淋面板上,锥体的侧周面自上向下呈向外扩散状以将进入进气口的气体导流至喷淋面板的各处。
今年以来拓荆科技新获得专利授权8个,较去年同期增加了300%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3.14亿元,同比增49.61%。
数据来源:天眼查APP
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