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奥普光电：光栅尺是半导体设备的核心部件之一理论上可用于半导体加工领域多种设备

来源：证星互动追踪 2025-03-20 15:27:13

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证券之星消息，奥普光电(002338)03月20日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者提问：尊敬的董秘您好，官司的光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？

奥普光电回复：光栅尺是半导体设备的核心部件之一，理论上可用于半导体加工领域多种设备，但其精度要求取决于整机的技术指标需求。感谢关注。

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