芯源微获得发明专利授权：“一种防止反溅液体污染基板的装置及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种防止反溅液体污染基板的装置及方法”，专利申请号为CN201910891034.7，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：本发明属于半导体行业基板湿法处理领域，具体地说是一种防止反溅液体污染基板的装置及方法，喷嘴上安装有防溅罩，防溅罩的上端与喷嘴相连，下端为开放结构，防溅罩上开设有至少一个进液管，进液管连接有进液管路A，通过进液管路A向防溅罩内部输送液体A，液体A在防溅罩的内表面形成有液体膜；喷嘴向基板表面喷洒液体B，在基板表面形成反溅的液体B反溅至液体膜，并随液体膜流到基板表面，随基板的旋转脱离基板。本发明可以防止喷嘴喷洒出的液体B飞溅至升降CUP外部，避免影响工艺单元湿度，并可以防止反溅液体对工艺单元造成腐蚀；同时，本发明可防止反溅的液体B残留在喷嘴或防溅罩的内表面，避免在后续工艺中对基板造成二次污染。

今年以来芯源微新获得专利授权13个，较去年同期增加了62.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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