中微公司获得发明专利授权：“一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法”，专利申请号为CN202411947571.6，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：一种半导体处理设备及其固态前驱体输送系统和输送方法，固态前驱体输送系统包含固态前驱体源，惰性气体源和控温模块，控温模块包含设置在加热箱中的储气罐，先往储气罐中预充惰性气体，再往储气罐中充入气态前驱体，接着往储气罐中继续充入惰性气体，使储气罐中的气态前驱体和惰性气体的混合比例达到预定比例，最后将混合气体输送至半导体处理设备的处理腔中。通过三段式充压将气体前驱体和惰性气体混合，可以精确控制气态前驱体的输送量，利用惰性气体稀释气态前驱体，能够有效防止气态前驱体发生冷凝，还能够大幅降低加热箱的温度，防止位于加热箱中的阀门和压力计等器件遭到高温损坏，同时防止气态前驱体在高温下腐蚀管道内壁造成颗粒污染。

今年以来中微公司新获得专利授权37个，较去年同期增加了8.82%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由智能算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。