芯源微获得实用新型专利授权：“一种机器人的末端执行器”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种机器人的末端执行器”，专利申请号为CN202420898203.6，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：本实用新型提供了一种机器人的末端执行器，涉及半导体加工设备技术领域，包括连接块、安装板和搬运组件，所述连接块与机器人连接，所述搬运组件通过所述安装板与所述连接块连接，所述搬运组件用于搬运晶圆；所述搬运组件包括相对设置的第一陶瓷搬运件和第二陶瓷搬运件，所述第一陶瓷搬运件的一端和所述第二陶瓷搬运件的一端分别与所述安装板连接，所述第一陶瓷搬运件和所述第二陶瓷搬运件的厚度为5.0mm?6.5mm。本机器人的末端执行器不仅使末端执行器减薄厚度，满足了工艺单元窗口尺寸不断减小的条件，而且不影响末端执行器振幅和重复定位精度。

今年以来芯源微新获得专利授权10个，较去年同期增加了25%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。