证券之星消息,根据天眼查APP数据显示华海清科(688120)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种修整头”,专利申请号为CN201910576078.0,授权日为2025年3月14日。
专利摘要:本发明公开了一种修整头,包括修整组件和用于承载修整组件的基座组件,所述修整组件可相对于基座组件旋转并竖直移动以修整抛光垫;并且,所述修整头中设置有传感器以监测修整组件相对于基座组件的竖直位置。本申请提供的修整头用于化学机械抛光设备中抛光垫的修整活化,其结构合理,内部设置传感器实时监测修整组件相对于基座组件的竖直位置,实时获取修整组件底面距离抛光垫的距离,以保证良好的修整效果。
今年以来华海清科新获得专利授权17个,较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元,同比增23.19%。
数据来源:天眼查APP
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