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华海清科获得发明专利授权：“一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置”

来源：证券之星企业动态 2025-03-15 03:26:11

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置”，专利申请号为CN201911398791.7，授权日为2025年3月14日。

专利摘要：本发明公开了一种用于承载头的驱动组件及晶圆承载装置，包括承载头和上部气动组件，所述承载头通过连接组件耦接至所述上部气动组件，所述连接组件包括定位销和具有定位销孔的法兰盘，所述定位销和法兰盘由金属材料制成，所述定位销的部分或全部表面设置有非金属结构使得所述定位销与所述法兰盘接触不产生金属污染物。

今年以来华海清科新获得专利授权17个，较去年同期增加了54.55%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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