证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中科飞测(688361)新获得一项发明专利授权,专利名为“检测设备和检测方法”,专利申请号为CN202010941078.9,授权日为2025年3月14日。
专利摘要:本发明实施例提供一种检测设备和检测方法,用于进行扫描检测,所述检测设备包括:照明光源,用于提供照明光;物镜,用于使所述照明光投射至检测面,还用于对检测面成像,所述物镜的光轴在所述检测面的投影为检测点;聚焦装置,用于在所述检测面上确定测量点,所述测量点相对于所述检测点沿扫描方向具有一偏移量;还用于根据测量点对应的检测面位置,调整物镜进行聚焦;探测装置,用于探测物镜收集的所述照明光。本发明实施例能优化聚焦性能,提高成像质量。
今年以来中科飞测新获得专利授权17个,较去年同期减少了26.09%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元,同比增114.22%。
数据来源:天眼查APP
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