中微公司获得实用新型专利授权：“用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置”，专利申请号为CN202323509009.9，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型公开了一种用于半导体处理装置的灯组件、反射板及半导体处理装置，所述灯组件包含：反射板，所述反射板包括一中心区，环绕所述中心区且沿所述反射板的周向设置有多个线性灯，每个所述线性灯具有第一端和第二端，靠近所述中心区设置的前一个线性灯的第二端与后一个线性灯的第一端相邻，至少存在多个相邻的线性灯在旋转的晶圆的表面形成的圆环形投影区域部分错开。本实用新型的灯组件的排布增加了工艺过程中可以灵活调控的加热区域数量，保证了工艺过程中晶圆温度分布的均匀性和薄膜沉积的质量，同时，对测温仪进行校正，保证了对晶圆各区域测温结果的可靠性。

今年以来中微公司新获得专利授权35个，较去年同期增加了218.18%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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