证券之星消息,根据天眼查APP数据显示中微公司(688012)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“半导体组件、等离子体处理装置及导电导热垫片”,专利申请号为CN202323599136.2,授权日为2025年3月11日。
专利摘要:一种半导体组件、等离子体处理装置及导电导热垫片,所述半导体组件包括:第一部件;第二部件;导电导热垫片,设于所述第一部件和第二部件之间,其包括相对的第一表面和第二表面,所述第一表面具有若干个分立的第一凸起,所述第一凸起与第一部件贴合,所述第二表面具有若干个分立的第二凸起,所述第二凸起与第二部件贴合。所述半导体组件中的第一部件和第二部件之间具有良好的导电导热性能,且不易产生颗粒污染。
今年以来中微公司新获得专利授权35个,较去年同期增加了218.18%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元,同比增94.58%。
数据来源:天眼查APP
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