中微公司获得实用新型专利授权：“一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备”，专利申请号为CN202323555882.1，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型公开了一种反射灯座、晶圆加热组件及外延生长设备，其中所述晶圆加热组件包括：反射灯座；所述反射灯座的灯座本体沿周向分成至少2个区域；在每个区域内沿所述灯座本体的径向由灯座本体的边缘到中心设置有第一反射凹槽、第二反射凹槽……第i反射凹槽；所述相邻区域内的各个第i反射凹槽的横截面形状不相同，且相邻区域内的各个第i反射凹槽错位设置；每个所述反射凹槽内设置有至少一个加热灯。本实用新型调整了每个第i反射凹槽对红外热辐射的反射方向，实现了对红外热辐射的传输路径的精准控制，进而调节了晶圆表面不同位置的温度，提高了晶圆表面的温度均匀性。

今年以来中微公司新获得专利授权35个，较去年同期增加了218.18%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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