中科飞测获得发明专利授权：“控制方法和检测装置”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中科飞测（688361）新获得一项发明专利授权，专利名为“控制方法和检测装置”，专利申请号为CN202110325990.6，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本发明公开了一种控制方法和检测装置，检测装置包括腔体、移动组件、承载组件和至少两个测距传感器，腔体形成有腔室，移动组件位于腔室内，承载组件连接移动组件，移动组件用于驱动承载组件移动，承载组件包括吸盘，至少两个测距传感器安装在吸盘的预设位置，控制方法包括：通过至少两个测距传感器检测吸盘和腔室内壁之间形成的第一距离；在第一距离小于预设距离的情况下，获取吸盘的移动速度；根据吸盘的移动速度，确定对吸盘进行调节的调节速率；根据调节速率对吸盘进行调节。上述控制方法可降低吸盘和其吸附的晶圆受到损坏的风险。

今年以来中科飞测新获得专利授权10个，较去年同期减少了56.52%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.07亿元，同比增114.22%。