至纯科技获得实用新型专利授权：“一种晶圆的伯努利卡盘”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示至纯科技（603690）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆的伯努利卡盘”，专利申请号为CN202420325917.8，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种晶圆的伯努利卡盘，包括：卡盘，所述卡盘沿水平方向设置；晶圆支撑座，所述晶圆支撑座位于卡盘上方，所述晶圆支撑座上承托有晶圆；升降机构，所述升降机构沿竖直方向设置在所述卡盘和所述晶圆支撑座之间，所述升降机构用于在取放所述晶圆时推动所述晶圆支撑座远离所述卡盘。有益效果在于：在卡盘上设置了晶圆支撑座用来控制晶圆高度，还在晶圆支撑座下方设置了升降机构。当需要取放晶圆时，升降机构可推动晶圆支撑座远离卡盘，从而增加晶圆与卡盘之间的间隙，便于机械手取放晶圆。当需要进行吸附时，降下升降机构来控制间距以满足伯努利吸附的需求。

今年以来至纯科技新获得专利授权6个，较去年同期增加了50%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1亿元，同比增0.92%。

数据来源：天眼查APP

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