芯源微获得实用新型专利授权：“一种半导体设备调试用装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体设备调试用装置”，专利申请号为CN202420617962.0，授权日为2025年3月11日。

专利摘要：本实用新型属于半导体设备技术领域，具体地说是一种半导体设备调试用装置，包括框架、XYZ三维移动模组、晶圆承接手指及承片台；框架的内侧的底部位置设有若干个用于支撑晶圆的承片台，框架的内侧的中部位置设有XYZ三维移动模组，可替代高成本的专用机器人。XYZ三维移动模组连接有晶圆承接手指，晶圆承接手指用于取放晶圆。本实用新型提出的半导体设备调试用装置其运行逻辑符合光刻过程中实际光刻机机器手取片、送片的逻辑。本实用新型可在半导体设备厂内替代光刻机完成inl ine调试，整体结构紧凑占用空间小，能够满足大行程需求，结构简单，装卸方便，组合自由，制造成本低，维护方便。

今年以来芯源微新获得专利授权7个，较去年同期增加了40%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。

数据来源：天眼查APP

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