证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯源微（688037）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种晶圆自动对中方法”，专利申请号为CN202110540954.1，授权日为2025年3月11日。
专利摘要：本发明公开了一种晶圆自动对中方法，在机械手取回晶圆过程中传感器采集晶圆边缘信号，通过算法得出当前晶圆中心位置，将该位置与晶圆示教中心位置对比，如有偏差则机械手在下一次送出晶圆的过程中进行补偿；当晶圆缺口刚好落在其中一个传感器检测区域内，则可通过算法将缺口区域传感器测量结果舍去。按照本方法，机台无需额外增加工位，机械手在传片的过程中即可实现对晶圆偏移量的测量和补偿，完全不影响设备产能，而且成本远低于传统机械对中单元和光学对中单元。
今年以来芯源微新获得专利授权7个，较去年同期增加了40%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.17亿元，同比增52%。
数据来源：天眼查APP
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