证券之星消息,根据天眼查APP数据显示隆基绿能(601012)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种硅片处理方法和装置”,专利申请号为CN202111680653.5,授权日为2025年3月7日。
专利摘要:本申请实施例提供了一种硅片处理方法和装置。所述硅片处理方法包括:对硅片进行抛光处理,以去除硅片表面的损伤层;提供反应气体,其中,所述反应气体至少包括氧气和含卤气体;在第一预设温度下,采用所述氧气和所述含卤气体与所述硅片的表面反应,在所述硅片的表面形成微绒面,并去除所述硅片的金属杂质。本申请实施例可以减少化学品和水资源的消耗,减小硅片微绒面制作过程对于环境的影响,避免对硅片及其微绒面造成损伤,还有利于形成覆盖率更高和纵横比更高的微结构,以增强所述微绒面的陷光效果,提升所述微绒面的质量。而且,还可以去除所述硅片表面的金属杂质,提高了所述硅片的纯度。
今年以来隆基绿能新获得专利授权99个,较去年同期增加了141.46%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了8.85亿元,同比减9.29%。
数据来源:天眼查APP
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