证券之星消息,根据天眼查APP数据显示安泰科技(000969)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种钼合金靶材制备方法、钼合金靶材和应用”,专利申请号为CN202210567614.2,授权日为2025年3月7日。
专利摘要:本发明属于粉末冶金技术领域,具体提供一种钼合金靶材及其制备方法和应用。所述钼合金靶材的制备方法包括如下步骤:配制原料:按照所述靶材各元素质量配比称取原料混合,以质量百分数计,所述靶材包括如下成分,Ni:10%~30%,Ti:5%~25%,W:1%~20%和Re:0.5%~5%,余量为Mo和不可避免的杂质,且Mo的质量百分比≥50%;冷等静压;热等静压;热轧;退火。本申请方法制备的靶材塑韧性好,变形能力好,晶粒细小均匀。用本申请制备的靶材溅射沉积的薄膜厚度分布更均匀,可通过溅射方式附着在电子部件用层叠配线膜的主导电层上形成金属覆盖层,用于平面显示器、薄膜太阳能和半导体装置等。
今年以来安泰科技新获得专利授权10个,较去年同期减少了23.08%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了2.45亿元,同比增1.26%。
数据来源:天眼查APP
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