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宏达电子获得发明专利授权:“一种用于薄膜集成电路的生成制造工艺”

来源:证券之星企业动态 2025-03-08 03:32:26
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示宏达电子(300726)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于薄膜集成电路的生成制造工艺”,专利申请号为CN202410659363.X,授权日为2025年3月7日。

专利摘要:本发明公开了一种用于薄膜集成电路的生成制造工艺,涉及电子电路制造技术领域,本发明包括步骤,S1、多次涂胶;S2、曝光和显影,在光刻胶层形成电路图形;S3、电镀加厚,在薄膜电路表面制备金层;S4、去胶:先对基板进行大频率超声去胶清洗,再对基板进行小频率超声去胶清洗;S5、刻蚀:通过化学腐蚀的方法对没有保护的图形区域进行腐蚀。本发明,基板表面的光刻胶固化后,通过鼓风机将空气导入集冷室内降温,令低温空气通过导流管吹到基板表面,有利于对固化的光刻胶快速降温,光刻胶降温后能够迅速进入下一阶段的涂胶,方便提高涂胶效率。

今年以来宏达电子新获得专利授权4个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6576.46万元,同比减13.85%。

数据来源:天眼查APP

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