证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“曝光设备”，专利申请号为CN202420167574.7，授权日为2025年3月7日。
专利摘要：本实用新型公开了一种曝光设备，包括：硅片；曝光装置，所述曝光装置用于对所述硅片进行曝光；掩膜板，所述掩膜板设置于所述曝光装置和所述硅片之间，所述掩膜板和所述硅片之间设置有间隙；对位装置，所述掩膜板与所述对位装置相连接，所述对位装置驱动所述掩膜板上下移动；气体喷射装置，所述气体喷射装置与所述对位装置相连接，用于在曝光结束后向所述间隙喷射气体。其中，气体喷射装置在曝光完毕后向硅片和掩膜板之间的间隙喷射气体，以消除掩膜板快速抬升导致其与硅片间形成的负压状态，避免硅片移动甚至破碎。
今年以来芯碁微装新获得专利授权11个，较去年同期增加了120%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。
数据来源：天眼查APP
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