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汉钟精机：公司真空泵可配套应用于半导体产业中拉晶、扩散、沉积、刻蚀、光刻、薄膜等制程

来源：证星董秘互动 2025-03-06 21:00:27

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证券之星消息，汉钟精机(002158)03月06日在投资者关系平台上答复投资者关心的问题。

投资者：董秘你好，最新消息称荷兰ASML公司将停止为国内的光刻机提供维修服务，作为拥有半导体真空泵技术的公司之一，请问贵司的半导体真空泵在功能、稳定性和耐用性方面是否能替代ASML光刻机里面的真空泵部件？
汉钟精机董秘：您好，公司真空泵可配套应用于半导体产业中拉晶、扩散、沉积、刻蚀、光刻、薄膜等制程。目前半导体真空泵营收还比较小，对公司整体业绩影响不大，感谢您的关注。

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