中微公司获得发明专利授权：“防止下电极组件发生电弧放电的方法及等离子体处理设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“防止下电极组件发生电弧放电的方法及等离子体处理设备”，专利申请号为CN202411561997.8，授权日为2025年3月4日。

专利摘要：本发明提供一种防止下电极组件发生电弧放电的方法及等离子体处理设备，所述方法包括：测量基片的直流自偏压，获得对应的自偏压测量值；基于所述自偏压测量值计算自偏压补偿值；向所述下电极组件施加第一直流电压，所述第一直流电压的电压值为所述自偏压补偿值，实现所述下电极组件与基片之间的电压差值小于预设的第一阈值。其优点是：通过向下电极组件施加电压值为自偏压补偿值的第一直流电压，有效减少了基片与下电极组件之间的电压差，大大降低了高深宽比刻蚀中下电极组件发生电弧放电的概率，提高了基片加工的安全性。

今年以来中微公司新获得专利授权30个，较去年同期增加了233.33%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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