江丰电子获得发明专利授权：“一种Ag溅射靶材EBSD检测的制样方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江丰电子（300666）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种Ag溅射靶材EBSD检测的制样方法”，专利申请号为CN202211236276.0，授权日为2025年3月4日。

专利摘要：本发明涉及一种Ag溅射靶材EBSD检测的制样方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)Ag溅射靶材经线切割，得到溅射靶材块；(2)步骤(1)所得溅射靶材块依次经第一机械磨抛、第二机械磨抛以及第三机械磨抛，得到磨抛靶材块；(3)步骤(2)所得磨抛靶材块经化学腐蚀、清洗以及吹干，得到待测样品；步骤(3)所述化学腐蚀所用腐蚀液包括甲醇、氨水以及双氧水的混合液。本发明通过多次机械磨抛，使得溅射靶材块具有平整的表面，且能够消除表面的变形应力层；通过化学腐蚀进一步抛光，得到平坦光滑且无划痕的待测样品，经EBSD检测后衍射菊池带清晰，标定率较高。

今年以来江丰电子新获得专利授权9个，较去年同期减少了35.71%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.02亿元，同比增30.77%。

数据来源：天眼查APP

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