卓胜微获得实用新型专利授权：“一种邦定后晶圆用分离装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示卓胜微（300782）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种邦定后晶圆用分离装置”，专利申请号为CN202420436328.7，授权日为2025年2月28日。

专利摘要：本实用新型涉及一种邦定后晶圆用分离装置，包括顶部设置有敞口的蓄水底座，所述蓄水底座的敞口内盛放有水，所述蓄水底座的一侧壁面上配合安装有水刀，蓄水底座的一旁安装有机械臂，所述机械臂的工作端固定伺服电机，所述伺服电机的输出端连接连接板，所述连接板的底部端面安装有数个真空吸盘，所述真空吸盘通过负压抓取晶圆组件；所述机械臂通过真空吸盘将晶圆组件移送到位，伺服电机驱动连接板旋转，从而带动晶圆组件旋转，所述水刀吸取蓄水底座敞口内的水，形成高压水射流从而将旋转的晶圆组件分离。通过设置蓄水底座、机械臂和水刀，能够精准完成对晶圆组件的分离切割，从而防止对晶圆造成损坏，提高材料利用率，减少浪费。

今年以来卓胜微新获得专利授权7个，较去年同期增加了250%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4.93亿元，同比增94.22%。

数据来源：天眼查APP

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