永鼎股份获得发明专利授权：“一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示永鼎股份（600105）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置”，专利申请号为CN202411477445.9，授权日为2025年2月28日。

专利摘要：本发明公开了一种外延前的晶圆表面缺陷检测方法及装置，属于图像处理领域，其中方法包括：驱动云台相机，采集晶圆图像，接收晶圆图像以及图像采集参数；接收环境指标向量矩阵；响应于用户端上传的晶圆型号，从标准图像库，调取标准图像；通过图像增强模型，对标准图像进行采集状态统一分析，获得增强标准图像；比对晶圆图像和增强标准图像，获得衬底表面异常区域；当衬底表面异常区域的数量不为0，将单晶衬底运输至缺陷品仓库。本申请解决了现有技术中外延前的晶圆表面缺陷检测易受环境因素干扰，导致晶圆表面缺陷检测准确性差的技术问题，达到了减少环境因素干扰，提高外延前晶圆表面缺陷检测准确性的技术效果。

今年以来永鼎股份新获得专利授权7个，较去年同期减少了36.36%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.1亿元，同比增10.72%。

数据来源：天眼查APP

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