芯碁微装获得发明专利授权：“环境控制与定位误差关系的测试装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项发明专利授权，专利名为“环境控制与定位误差关系的测试装置”，专利申请号为CN202210302036.X，授权日为2025年2月25日。

专利摘要：本发明公开了一种环境控制与定位误差关系的测试装置，包括：主体，主体设有测试空间和测试空间连通的进风口；换热器，换热器安装于主体且位于测试空间外；气体动力单元，气体动力单元安装于主体且驱动气体流动以形成测试气流，测试气流依次流经换热器、进风口和测试空间；运动组件，运动组件设于测试空间内；位移传感器，位移传感器设于测试空间内，用于检测运动组件的当前位置；激光干涉仪组件，激光干涉仪组件设于测试空间内，用于检测运动组件的当前位置；控制记录单元，控制记录单元设于测试空间外且分别与换热器、气体动力单元、运动组件、位移传感器和激光干涉仪组件连接。测试装置能够测试不同环控下对运动组件的定位误差的影响规律。

今年以来芯碁微装新获得专利授权10个，较去年同期增加了100%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。

数据来源：天眼查APP

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