天准科技获得发明专利授权：“套刻误差量测装置及套刻误差量测方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示天准科技（688003）新获得一项发明专利授权，专利名为“套刻误差量测装置及套刻误差量测方法”，专利申请号为CN202410843907.8，授权日为2025年2月25日。

专利摘要：本发明提供了一种套刻误差量测装置及套刻误差量测方法，属于半导体检测领域，套刻误差量测装置的光栅干涉测量系统采用不同波长照射对准光栅并优化套刻误差测量结果，辅助测量系统基于埋藏在晶圆内的对准光栅对脉冲激发的声场或热场进行套刻误差测量；量测方法包括放置晶圆、晶圆预定位、光栅干涉测量调整、套刻误差光学干涉测量以及声场和热场辅助测量。本申请通过波长赋权重，提高了多种形变情况下的套刻误差测量的精确性；辅助以声场或热场对埋藏在晶圆内的对准光栅进行测量，实现了套刻误差的多种形变及埋藏在晶圆内的位置确定和套刻误差测量，提高了适应范围，便于在半导体量检测和加工领域推广应用。

今年以来天准科技新获得专利授权1个，较去年同期减少了87.5%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.18亿元，同比增6.53%。

数据来源：天眼查APP

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