ST华微获得实用新型专利授权：“一种晶圆腐蚀框及腐蚀装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种晶圆腐蚀框及腐蚀装置”，专利申请号为CN202420365256.1，授权日为2025年2月25日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆腐蚀框及腐蚀装置，涉及晶圆腐蚀技术领域，用于解决现有技术中腐蚀后的晶圆存在较为严重的色差的技术问题。该腐蚀框包括框体、多个第一框齿和多个第二框齿，多个第一框齿设置于框体的第一内壁上；多个第二框齿设置于框体的第二内壁上，多个第一框齿与多个第二框齿一一对应，相邻两个第一框齿间形成第一放置间隙，相邻两个第二框齿间形成第二放置间隙，从沿框体顶部到框体底部的方向，第一放置间隙和第二放置间隙的宽度均逐渐减小，第一放置间隙和第二放置间隙靠近框体底部一侧的宽度均小于晶圆的厚度。本申请可以极大地减少晶圆与腐蚀框的接触面积，从而可以极大地改善晶圆腐蚀后的色差问题。

今年以来ST华微新获得专利授权8个，较去年同期增加了700%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。

数据来源：天眼查APP

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