京仪装备获得发明专利授权：“一种半导体废气处理装置及半导体废气处理系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种半导体废气处理装置及半导体废气处理系统”，专利申请号为CN202211574941.7，授权日为2025年2月21日。

专利摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，提供一种半导体废气处理装置及半导体废气处理系统，半导体废气处理装置包括反应腔、套环和冷却器，所述冷却器设有用于冷却液流通的通道，所述通道围绕所述反应腔的外部设置，所述套环上设有溢流孔，所述套环套设于所述反应腔的底部，与所述反应腔之间形成有存储所述冷却液的储存室。通过反应腔底部的储存室储存冷却液，保证反应腔底部的焊缝不直接与废气接触，减少反应腔底部的腐蚀。同时冷却液一直在通道内循环流动，保证冷却液不会长期堆积导致其酸性强度高，降低了反应腔内的温度，减缓腐蚀速率，提高了反应腔的使用寿命。

今年以来京仪装备新获得专利授权6个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4470.99万元，同比增63.28%。

数据来源：天眼查APP

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