华海清科获得发明专利授权：“压力调整方法、装置、电子设备、存储介质和程序产品”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“压力调整方法、装置、电子设备、存储介质和程序产品”，专利申请号为CN202411345608.8，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本申请实施例涉及晶圆抛光技术领域，尤其涉及一种压力调整方法、装置、电子设备、存储介质和程序产品，该压力调整方法包括：获取抛光设备包括的保持环的沟槽深度与抛光设备工作时电涡流传感器输出的信号之间的映射关系，保持环包括其内部的环状的金属部分，电涡流传感器和保持环位于抛光设备包括的抛光垫的两侧，抛光设备对晶圆进行化学机械抛光过程中，在垂直于抛光垫的方向上金属部分至少部分时间与电涡流传感器相对；在抛光设备对晶圆进行化学机械抛光过程中，获取电涡流传感器的输出信号；根据映射关系和输出信号，确定保持环的当前沟槽深度，以调整晶圆的边缘与抛光垫之间的压力。本方案优化了对晶圆的边缘进行化学机械抛光的效果。

今年以来华海清科新获得专利授权12个，较去年同期增加了20%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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