芯碁微装获得实用新型专利授权：“对称式双远心大视场成像系统及光刻设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“对称式双远心大视场成像系统及光刻设备”，专利申请号为CN202420072324.5，授权日为2025年2月18日。

专利摘要：本实用新型公开了一种对称式双远心大视场成像系统及光刻设备，该系统包括：沿光轴从物面到像面依次设置的第一透镜组、第二透镜组、光阑、第三透镜组、第四透镜组，第一透镜组与第三透镜组以光阑为对称面完全对称，第二透镜组与第四透镜组以光阑为对称面完全对称；其中，第一透镜组包括第一透镜、第二透镜、第三透镜；第二透镜组包括第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜；第三透镜组包括第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜；第四透镜组包括第十二透镜、第十三透镜、第十四透镜。本实用新型通过设置对称于光阑的14片透镜，使成像系统所产生的像差相互补偿，在提高成像质量的同时，大幅度降低了加工，检测和装校的工艺难度和成本。

今年以来芯碁微装新获得专利授权9个，较去年同期增加了200%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了4893.46万元，同比增25.95%。

数据来源：天眼查APP

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