证券之星消息,根据天眼查APP数据显示派瑞股份(300831)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种适用于半导体工艺生产用的蒸发专用夹具”,专利申请号为CN202420528021.X,授权日为2025年2月18日。
专利摘要:本实用新型涉及一种适用于半导体工艺生产用的蒸发专用夹具,包括水平放置的衬环,衬环的上方配合有盖板,衬环包括底盘,底盘上设有蒸发腔,蒸发腔将底盘竖向贯穿,底盘上还设有相间区域,相间区域为环形的槽口,将待蒸发的芯片放置在底盘上,相间区域内的芯片不会与底盘接触;盖板可放置在底盘上,当盖板与底盘配合对两者之间的芯片形成夹持时,芯片与盖板之间存在容置腔,不会与芯片直接接触;本实用新型的有益效果是:减小了芯片分别与盖板和衬环之间的接触面积,降低了摩擦产生的损伤和划道,提高了工艺效率和成品率,节约成本。
今年以来派瑞股份新获得专利授权1个。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了663.3万元,同比增22.79%。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。