中微公司获得发明专利授权：“一种边缘环更换装置、等离子体处理设备及使用方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中微公司（688012）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种边缘环更换装置、等离子体处理设备及使用方法”，专利申请号为CN202110564685.2，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明公开一种边缘环更换装置、等离子体处理设备及使用方法，所述边缘环更换装置，其位于等离子体刻蚀腔中，所述等离子体刻蚀腔的底部设有基座，所述边缘环围绕所述基座外侧；所述边缘环更换装置包括：可上下移动的上接地环，位于所述等离子体刻蚀腔的顶部；位于所述上接地环内的若干个电极组，每一所述电极组与所述边缘环相对设置；电路系统，用于向每一所述电极组提供直流电压，以使每一所述电极组产生静电吸力。本发明电极组可以产生静电吸力吸附边缘环以及解除静电吸力将已吸附的边缘环放置于预设位置，从而在对等离子体蚀刻设备不开腔以及在腔室内不设置多个驱动部件的情况下移出或移入边缘环，进而更换边缘环。

今年以来中微公司新获得专利授权29个，较去年同期增加了222.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了5.68亿元，同比增94.58%。

数据来源：天眼查APP

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