上海新阳获得发明专利授权：“晶圆湿制程设备用晶圆电镀装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆湿制程设备用晶圆电镀装置”，专利申请号为CN201911332462.2，授权日为2025年2月14日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆电镀装置，包括具有电镀用容腔的电镀槽壳体，所述电镀槽壳体内设有相邻且可拆换的晶圆挂具部及电镀扩散与屏蔽部，所述晶圆挂具部设有单面显露口用于显露出晶圆的电镀面一侧，所述电镀扩散与屏蔽部设有正对于所述单面显露口的多阶导流面。本发明所提供的晶圆湿制程设备用晶圆电镀装置，整体结构布置紧凑、内部结构精巧且功能全面，通过晶圆挂具部，可同时电镀多块晶圆，每块晶圆只镀一侧表面，通过电镀扩散与屏蔽部的多阶导流面可使得电镀液充分扩散，以保证电镀液均匀地电镀到晶圆上，达到厚度均匀的要求。

今年以来上海新阳新获得专利授权4个，较去年同期减少了66.67%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了9709.66万元，同比增51.71%。

数据来源：天眼查APP

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